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| DP53XX¡¢DP55XX¡¢DP59XXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔ칤ÒÕÖжྦྷ¹èµÄÈ¥³ýÇ徲̹»¯£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¾ßÓи߶ྦྷ¹èÈ¥³ýËÙÂÊ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¸ßÏ¡Êͱȡ¢µÍȱÏÝÂʵÄÌص㠡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£²úÆ·ÒѾÔÚ´æ´¢Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓà ¡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ¶à¾§¹èÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿4%-20%£»£»£»£»£»£»£» Á£¾¶£º60-200 nm£»£»£»£»£»£»£» Poly/OXÒƳýÑ¡Ôñ±È¸ß |
| DP54XX¡¢DP56XX¡¢DP58XXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔ칤ÒÕÖжೡ¾°µÄµª»¯¹è±¡Ä¤È¥³ýÇ徲̹»¯£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¾ßÓеúÐÎЧӦÐÞ¸´ÄÜÁ¦Ç¿£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Õ¤¼«¸ß¶È¾«×¼¿ØÖƵÄÓŵ㣬£¬£¬ £¬£¬£¬ÔÚÂß¼Æ÷¼þÖÆÔìÖÐÆÕ±éÓ¦Óà ¡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | µª»¯¹èÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿2%-20%£»£»£»£»£»£»£» Á£¾¶£º50-100 nm£»£»£»£»£»£»£» SiN/OXÒƳýÑ¡Ôñ±ÈÊÊÖÐ |
| ZXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔ칤ÒÕÖнéµç²ãÖÊÁÏ£¨Ñõ»¯¹è£©µÄÈ¥³ýÇ徲̹»¯£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¾ßÓиßÈ¥³ýËÙÂÊ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¸ßÏ¡Êͱȡ¢µÍȱÏÝÂʵÄÌص㠡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£²úÆ·ÒѾÔÚ´æ´¢Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓà ¡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ½éµçÖÊÁÏÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿3%-20%£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ Á£¾¶80-150nm£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ OX±¡Ä¤ÒƳýÂÊ¸ß |
| DP6XXXϵÁÐ | ÔÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔìÖУ¬£¬£¬ £¬£¬£¬ÓÃÓÚ¹èƬÍâò»¯Ñ§»úеÅ×¹â(CMP)£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ÓÐÈ¥³ýËÙÂʸߣ¬£¬£¬ £¬£¬£¬ÍâòȱÏÝÂʵ͵ÄÌص㠡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ¹è³Äµ×Å×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿2%-20%£»£»£»£»£»£»£» Á£¾¶£º50-100 nm£»£»£»£»£»£»£» SiÒƳýÂʸߣ»£»£»£»£»£»£» ¾§Ô²È±ÏÝÂÊµÍ |
| DW6XXXϵÁÐ | ´îÔØ×Ô²úÑõ»¯ÂÁÑÐÄ¥Á£×Ó£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ÓÃÓÚÂß¼Æ÷¼þÖÆÔ칤ÒÕÖнðÊôÎÙÕ¤¼«ÖÊÁϵÄÈ¥³ýÇ徲̹»¯£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¾ßÓиßƽչ»¯Ð§ÂÊ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¸ßÑ¡Ôñ±È£¬£¬£¬ £¬£¬£¬µÍȱÏÝÂʵÄÌص㣬£¬£¬ £¬£¬£¬ÒÑÔÚÂß¼Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓà ¡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÎÙÕ¤¼«Å×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿0.01%-0.3%£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ Á£¾¶60-120nm£¬£¬£¬ £¬£¬£¬W£¬£¬£¬ £¬£¬£¬TiN£¬£¬£¬ £¬£¬£¬OX ÒƳýÂʾù¿ÉÖª×㶨ÖÆ»¯ÐèÇ󣬣¬£¬ £¬£¬£¬W/OX ÒƳýÑ¡Ôñ±È¸ß |
| DW3XXX¡¢DW5XXXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔ칤ÒÕÖнðÊôÎÙÖÊÁϵÄÈ¥³ýÇ徲̹»¯£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Ñ¡Ôñ±È¿É¿Ø£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Öª×ãÑ¡Ôñ±È¶¨ÖÆÐèÇ󣬣¬£¬ £¬£¬£¬µÍȱÏÝÂÊ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ÒѾÔÚÂß¼Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓà ¡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÎÙÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿1%-10%£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ Á£¾¶60-100nm£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ W£¬£¬£¬ £¬£¬£¬TiN£¬£¬£¬ £¬£¬£¬OX ÒƳýÂʾù¿ÉÖª×㶨ÖÆ»¯ÐèÇ󣬣¬£¬ £¬£¬£¬W/OX ÒƳýÑ¡Ôñ±ÈÊÊÖÐ |
| DBϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔìÍ»¥Á¬¹¤ÒÕÖÐ×èµ²²ãµÄÈ¥³ýÇ徲̹»¯£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Ñ¡ÔñÐÔÅ×¹âÍÓë×èµ²²ã£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¸ßƽÕû¶È¡¢µÍȱÏÝ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬µÍÇÖÊ´»òµúÐΰ¼ÏÝ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | Í×èµ²²ãÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿5~25%£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ Á£¾¶20-150nm£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Cu£¬£¬£¬ £¬£¬£¬OX£¬£¬£¬ £¬£¬£¬BD£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Ta£¬£¬£¬ £¬£¬£¬TaN£¬£¬£¬ £¬£¬£¬SiNµÈ±¡Ä¤ÒƳýÂÊ¿Éƾ֤ÐèÇó¶¨ÖÆ |
| DCϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔ칤ÒÕÖнðÊô͵ÄÈ¥³ýÇ徲̹»¯£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¾ßÓиßÈ¥³ýËÙÂÊ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¸ßÏ¡Êͱȣ¬£¬£¬ £¬£¬£¬µÍȱÏݵÈÌص㠡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÍÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿0.5%-2%£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Á£¾¶30-120nm£»£»£»£»£»£»£»CuÒƳýÂʸߣ»£»£»£»£»£»£»Cu/OXÒƳýÑ¡Ôñ±ÈµÍ |
| ZAϵÁÐ | ´îÔØ×Ô²úÑõ»¯ÂÁÑÐÄ¥Á£×Ó£¬£¬£¬ £¬£¬£¬ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·ÖÆÔ칤ÒÕÖнðÊôÂÁÕ¤¼«ÖÊÁϵÄÈ¥³ýÇ徲̹»¯ÐÞ¸´£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¾ßÓиßƽչ»¯Ð§ÂÊ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬¸ßÑ¡Ôñ±È£¬£¬£¬ £¬£¬£¬µÍȱÏÝÂʵÄÌص㠡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£²úÆ·ÒѾÔÚÂß¼Æ÷¼þÖÆÔìÖÐʹÓà ¡£¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÂÁÕ¤¼«Å×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿0.5%-2%£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Á£¾¶60-120nm£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Al £¬£¬£¬ £¬£¬£¬TiN£¬£¬£¬ £¬£¬£¬OXµÈ±¡Ä¤ÒƳýÂÊ¿Éƾ֤ÐèÇó¶¨ÖÆ£¬£¬£¬ £¬£¬£¬Al/OX ÒƳýÑ¡Ôñ±È¸ß |
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